高考申論題
106年
[工業安全] 安全工程
第 四 題
矽甲烷(SiH4)、磷化氫(PH3)、砷化氫(AsH3)為半導體光電產業常使用的特殊氣體,說明上述三種特殊氣體的危害性?半導體光電產業中的那一個產業(半導體、面板業(TFT-LCD)、發光二極體(LED)、太陽能電池)沒有使用到砷化氫?相對於矽甲烷的使用量,半導體光電產業中的那一個產業砷化氫、磷化氫的使用量較高?(25分)
📝 此題為申論題
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看到此題，應先從半導體與光電製程的「材料特性（底材與磊晶）」切入。矽基（Silicon-based）製程以矽甲烷（SiH4）為大宗；而III-V族化合物（如LED）則需大量使用砷/磷的氫化物。答題時須精準區分每種氣體的「物理性危害（自燃/延遲爆炸）」與「健康危害（極毒/溶血）」，並以製程原理（摻雜 vs. 主結構）推導各產業的氣體使用量差異。
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【破題】 高科技產業所使用的特殊氣體多具有高危害性，其種類與用量取決於產品的材料基礎（矽基或化合物基）。本題測驗核心在於辨識氫化物氣體之特定危害，並結合製程實務判斷氣體於不同光電產業之應用比重。 【論述】
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