高考申論題
107年
[材料工程] 材料分析
第 六 題
光斑大小（probe size）是決定掃描式電子顯微鏡（SEM）的空間解析度重要因素之一。請論述 SEM 中每個電磁稜鏡對光斑大小的決定機制與其影響。（10 分）
📝 此題為申論題
思路引導 VIP
看到這題，首先應在腦海中建構 SEM 的電子光學系統架構，鎖定「聚光鏡（Condenser Lens）」與「物鏡（Objective Lens）」兩大核心元件。接著運用電子光學原理，分別論述聚光鏡的「縮小（demagnification）機制與束流控制」，以及物鏡的「聚焦機制、工作距離（WD）與像差（aberrations）限制」，並說明它們在解析度與訊號強度間的權衡關係。
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【破題】 SEM 的空間解析度高度依賴於照射在試片上的電子束光斑大小（probe size）。光斑大小主要由電子光學系統中的電磁透鏡（包含聚光鏡與物鏡）透過洛倫茲力對電子束進行「縮小」與「聚焦」的物理機制共同決定。 【論述】
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