高考申論題
109年
[機械工程] 機械製造學(包括機械材料)
第 六 題
六、請詳述應用於微奈米製程中三維形貌量測上的掃描白光干涉儀（scanning white light interferometry）之原理及量測方法與特性。（15分）
📝 此題為申論題
思路引導 VIP
這屬於精密檢測（Metrology）考點。白光干涉與雷射干涉最大的不同在於「短相干長度（Short coherence length）」。思路：1. 光學架構（麥克森或米勞干涉儀）；2. 原理（白光干涉條紋與最大對比度點）；3. 量測方法（垂直掃描、包絡線檢測）；4. 特性（垂直解析度高、非接觸、適用台階高度）。