高考申論題
109年
[輻射安全] 輻射應用及其防護
第 三 題
請描述工業所使用之離子佈值機,並說明如何進行離子佈值機之輻射防護。(15分)
📝 此題為申論題
思路引導 VIP
看到「離子佈植機」，首先應聯想到半導體製程中用來改變材料特性的加速設備，需說明其運作流程（離子源、質量分析、加速、靶室）。防護部分則需著眼於加速過程中產生的「制動輻射（X射線）」及可能引發的「光核反應（中子）」，從屏蔽設計、連鎖裝置及人員管制三大面向著手解答。
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【破題】 離子佈植機為半導體工業中不可或缺的加速器設備，主要利用高壓電場加速離子化原子並植入晶圓中以改變其電性。由於過程中具備高壓加速電子及離子撞擊金屬組件的物理現象，會伴隨產生X射線或中子輻射，故需實施嚴謹之輻射防護。 【論述】
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