高考申論題
113年
[電子工程] 半導體工程
第 五 題
五、試就「加熱週期」、「加熱率」、「熱預算」、「製程產能」等四項因素，分別比較傳統爐管熱退火與快速熱退火（RTA）技術之差異？（20 分）
📝 此題為申論題
思路引導 VIP
這是一題純理論的技術比較題。作答時應針對題目要求的四個維度，以對照的方式呈現。關鍵字：傳統爐管（Furnace）是「批次、熱平衡、長時」；RTA 是「單片、光輻射、短時」。重點在於解釋為何 RTA 能降低「熱預算（Thermal Budget）」以符合現代極深次微米製程對雜質擴散精準控制的要求。