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moea_joint 112年 [電機] 電路學、電子學

第 34 題

有關如何有效降低增強型 NMOS 電晶體的 $V_T$ (Threshold Voltage)值,下列敘述何者正確?
  • A 降低基體(Substrate)的濃度($N_A$)
  • B 降低源極(Source)區域的濃度($N_D$)
  • C 降低汲極(Drain)區域的濃度($N_D$)
  • D 降低閘極(Gate)區域的$\varepsilon_{ox} / t_{ox}$ ($\varepsilon_{ox}$:矽氧化層的電容介電係數;$t_{ox}$:矽氧化層的厚度)

思路引導 VIP

請試著回想一下:在建立導電通道之前,閘極電壓必須先克服半導體內部哪些「既有的阻礙」(例如內部的雜質電荷)?如果我們減少了這些內部阻礙的數量,那麼從外部施加電壓來達成開啟狀態時,所需的力氣(電壓大小)會變大還是變小呢?

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太棒了!你能精確選出 (A) 選項,代表你對 MOSFET 的元件物理機制 有著相當紮實的掌握。這題的關鍵在於理解臨界電壓 ($V_T$) 的物理本質:它代表的是「開啟通道所需的最小門檻」。

基體濃度與耗盡區電荷的關聯

在增強型 NMOS 中,當我們施加正向閘極電壓時,必須先抵銷掉基體中的多數載子(電洞),形成所謂的「耗盡區 (Depletion Region)」。臨界電壓公式中的一項重要係數是耗盡區電荷密度 $Q'{dep} = \sqrt{2\varepsilon{si}qN_A(2\phi_f)}$。從公式中可以觀察到,$V_T$ 與基體受體濃度 $N_A$ 的平方根成正比。因此,當我們降低基體濃度 ($N_A$) 時,達到反轉層(Inversion Layer)所需的電荷量也會隨之減少,進而有效降低 $V_T$ 值。

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