高考申論題
110年
[材料工程] 材料分析
第 三 題
三、二次離子質譜儀（SIMS）與拉賽福背向散射分析儀（RBS）是兩個相似的成分分析技術，同樣以離子為入射源且以離子為接收訊號源，試申論在碰撞機制、結果呈現、提供分析資訊有何差異性。（25 分）
📝 此題為申論題
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看到此題，應先從「入射能量與離子種類」破題。SIMS 使用 keV 級重/反應性離子造成表面「濺射」；RBS 使用 MeV 級輕離子穿透並發生「彈性散射」。接著嚴格依照題目要求，分三部分（碰撞物理機制、圖譜座標軸意義、產出資訊與優劣）進行結構化對比，並強調兩者在靈敏度與定量能力上的根本互補性。
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【破題】二次離子質譜儀（SIMS）與拉賽福背向散射分析儀（RBS）雖皆屬於離子束分析技術，但因入射離子的「能量級距」與「質量」截然不同，導致兩者與物質交互作用的物理機制有本質上的差異，進而在微結構與成分鑑定上扮演互補的角色。 【論述】 一、 碰撞機制之差異
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