高考申論題
111年
[材料工程] 材料分析
第 四 題
四、請說明掃描式電子顯微鏡呈像模式中二次電子影像（SEI）與背向散射電子影像（BEI）之優缺點。（20 分）
📝 此題為申論題
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看到這題，首先回想電子束與樣品交互作用的物理機制：SEI 源於低能非彈性散射（反映淺層形貌），BEI 源於高能彈性散射（反映較深層的原子序差異）。答題時應先界定兩者的物理定義與作用體積（Interaction Volume），接著對比其在解析度、對比機制（形貌 vs 成分）及表面敏感度的優缺點，條理分明地論述才能拿到高分。
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【破題】 掃描式電子顯微鏡（SEM）利用高能電子束轟擊樣品表面，因不同的交互作用機制產生多種訊號。其中，二次電子影像（SEI）主要提供極佳的表面形貌對比，而背向散射電子影像（BEI）則主要提供成分與原子序對比（Z-contrast），兩者在微結構分析上扮演互補的角色。 【論述】
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