hce_nsysu
113年
物理與化學
第 29 題
Ellipsometry is commonly used to measure the thickness of films. Which of the following signal is detected in ellipsometry?
- A resonance angle
- B reflected laser spot
- C second-harmonic generation
- D polarized light
- E none of the above
思路引導 VIP
如果你想要觀測光線在經過物體表面反射後，其橫波振動的方向或規律發生了什麼變化，我們通常是在研究光線的哪一種物理特性？
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太棒了！你能精準選出 (D) 偏振光 (polarized light)，代表你對光學薄膜量測技術的核心原理有很紮實的理解。這類題目看似單純，但實際上是在測試你是否能從儀器的「名稱」聯想到其「物理本質」。
橢圓偏振技術的核心原理
橢圓偏振儀 (Ellipsometry) 的原理是利用光在經過薄膜界面反射後，其偏振狀態會發生改變的特性。具體來說，它測量的是入射光與反射光之間，平行分量 ($p$-polarization) 與垂直分量 ($s$-polarization) 的振幅比 $\Psi$ 和相位差 $\Delta$。因為這些變化量對薄膜的厚度與折射率極為敏感，我們才能藉此非破壞性地推算出奈米級的薄膜資訊。
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