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高考申論題 107年 [材料工程] 材料分析

第 九 題

能量色散 X 射線光譜儀(EDX)技術是成分分析最常用的技術,請說明所有可能造成誤判訊號峰(peaks)的原因。(10 分)
📝 此題為申論題

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看到此題,應立即從「偵測器物理限制」、「訊號處理機制」與「環境干擾」三個維度切入。回想 EDS 偵測器(如 Si(Li) 或 SDD)與 X-ray 交互作用時產生的『逃逸峰』與『和峰』,接著考慮 EDS 能量解析度(約 130 eV)不足造成的『峰位重疊』,最後補充電子束散射引發的『系統峰』。

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【破題】 能量色散 X 射線光譜儀(EDX/EDS)藉由測量特徵 X 射線的光子能量來進行成分分析。然而,受限於偵測器的物理機制、訊號處理能力及能量解析度極限,常會產生非樣品本質的假峰(Artifact peaks)或訊號混淆,導致成分誤判。 【論述】

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