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高考申論題 111年 [電子工程] 半導體工程

第 四 題

HEMT 元件是藉由那種方式得到 high electron mobility?(5 分)為何較傳統 MOSFET 更高速?(5 分)
📝 此題為申論題

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本題測驗「高電子移動率電晶體(HEMT)」的核心物理機制。思考順序:1. 定義HEMT如何達到高移動率:關鍵詞是「異質接面(Heterojunction)」與「調變摻雜(Modulation doping)」。解釋施體摻雜在寬能隙材料,而電子掉入未摻雜的窄能隙材料形成「二維電子氣(2DEG)」,因此消除了「離子化雜質散射」。2. 比較MOSFET:傳統Si-MOSFET通道有高濃度雜質散射,且界面(Si/SiO2)有表面粗糙度散射;HEMT則無此問題,且使用III-V族本身有效質量小、本質移動率高,所以速度更快。

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【考點分析】 本題考查高頻/高速電晶體 HEMT(High Electron Mobility Transistor)的工作原理,重點在於能帶工程中的異質接面、調變摻雜技術,以及載子散射機制。 【理論/法規依據】

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