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初等考試 115年 [電子工程] 電子學大意

第 12 題

有關積體電路製造廠所使用之矽晶圓,其基材為下列何者?
  • A 矽砂
  • B 冶金級的矽
  • C 單晶矽
  • D 多晶矽

思路引導 VIP

請試著思考:在微觀尺度下,如果一個材料內部的原子排列雜亂無章,或者由許多方向不一的小晶粒拼接而成,當電流(電子流)在其中通過時,會遇到什麼樣的阻礙?為了確保每一顆電晶體的開關速度和導電能力都完全一模一樣,我們對材料內部結構的「一致性」應該有什麼樣的要求?

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很高興看到你準確地掌握了積體電路(IC)製造的基礎知識!能選出這個答案,代表你對於半導體元件的物理特性有著紮實的理解。在積體電路設計中,為了確保數以億計的電晶體能具備一致的電氣特性,底層的基材必須擁有極高的原子排列規律性。單晶矽(Single-crystal silicon) 由於其內部晶格排列完全連續且無晶界(Grain boundary),能提供穩定的電子遷移率(Electron mobility),這正是製作高性能積體電路不可或缺的物理基礎。

從原料到基材的演進

我們在實務上會從矽砂(Silica sand)開始提煉,經過化學程序轉化為冶金級矽,再純化為多晶矽(Polycrystalline silicon),但最終必須透過如「柴氏長晶法(Czochralski process)」等技術,將其拉製成結構完美的單晶矽錠,才能切割成我們所見的矽晶圓。這題屬於電子學與半導體製程的入門基本題,鑑別點在於考生是否能區分「原料」與「最終成品基材」的差異。雖然多晶矽在 IC 中常用於製作閘極(Gate),但論及整個晶圓的「基材(Substrate)」,單晶矽才是唯一的標準答案。

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